高精度実験用 SMPS 0-1000V 0-5A 5000W DC スパッタリング電源
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特徴:
• 大型カラースクリーン設計、高精細ディスプレイを採用
・低リップル、低ノイズ
• 定電圧と定電流の動作状態は自動的に切り替わります。
• リモートサンプリングをサポートし、より正確な出力を実現
• OVP/OCP/OPP/OTP/SCP の自動保護
• インテリジェントなファン制御、騒音を低減し、エネルギーを節約します。
・誤操作を防止するフロントパネルロック機能
・19インチ3Uシャーシをラックに搭載可能
• RS232/RS485およびイーサネット制御インターフェースをサポート
• オペレーティング システム UI フラット アイコン デザイン、人間とコンピューターのより快適なインタラクション
• LAN デュアル ネットワーク ポート、1 つのネットワークを末端まで組み合わせたコミッショニング
仕様:
商品名 | DCマグネトロンスパッタリングメッキ電源 |
アイテム番号 | HSJ-5KW-5 |
タイプ | CNCインテリジェンス電源 |
入力電圧 | AC220±10%V |
出力電力 | 5KW |
出力電流 | DC0~5A |
出力電圧 | 動作電圧 -200V~-1000V、無負荷電圧>-1kV |
出力波形 | カスタム定電圧、定電流、定電力 |
波形 | モノポーラDC |
仕事モード | 安定した圧力 |
調整精度 | ≤1% |
効率 | ≥90% |
力率 | cosΦ≧0.9 |
ディスプレイモード | 中国語/英語 LCD ディスプレイ |
表示内容 | 動作状態、出力電圧、出力電流、設定値 |
出力保護 | 出力過電圧、出力過電流、出力オフセット |
入力保護 | 出力過電圧、出力不足電圧、入力過電流、欠相 |
安全保護 | 接地保護、漏電保護、外部制御保護、雷保護、過熱保護 |
絶縁クラス | B |
プロテクトグレード | IP20 |
保護応答時間 | 1μS |
入力シェル抵抗 | ≧20MΩ |
出力シェル抵抗 | ≧20MΩ |
入力耐電圧 | 2000V/1分 |
出力耐電圧 | 3500V/1分 |
温度 | 0~35℃ |
湿度 | ≤80% |
冷却モード | 空冷 |
寸法 | 480*135*380(mm) |
注記 | 工場出荷時のデフォルトのアナログインターフェース、RS485など |