高精度実験室用SMPS 0-600V 5A 3000W DCスパッタリング電源

簡単な説明:

簡単な紹介:

当社のスパッタシリーズの電源は、コーティングプロセスの再現性を完全に保証する高度なDSP制御システムを採用しており、ターゲットのアーク放電と短絡抵抗を抑制する機能があり、優れた負荷マッチング能力を備えているため、ターゲット表面洗浄プロセスの安定性を確保するだけでなく、ターゲット表面の洗浄速度も向上します。主要パラメータは広い範囲で連続調整可能で、メンテナンスが簡単で信頼性が高く、PLCインターフェイスとRS485インターフェイスが機能を拡張し、自動制御を容易にします。

 


製品詳細

製品タグ

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特徴:

• 大型カラースクリーン設計、高精細ディスプレイを採用

• 低リップル、低ノイズ

• 定電圧と定電流の動作状態が自動的に切り替わります

• リモートサンプリングをサポートし、より正確な出力

• OVP/OCP/OPP/OTP/SCPの自動保護

• インテリジェントなファン制御により、騒音を低減し、エネルギーを節約します

• 誤操作を防ぐフロントパネルロック機能

• 19インチ3Uシャーシをラックに設置可能

• RS232/RS485およびイーサネット制御インターフェースをサポート

• オペレーティングシステムのUIのフラットアイコンデザインにより、人間とコンピュータのより快適なインタラクション

• LANデュアルネットワークポート、1つのネットワークをエンドまで統合

仕様:

製品名

DCマグネトロンスパッタリングめっき電源

商品番号

HSJ-3KW-6

タイプ

CNCインテリジェンス電源

入力電圧

AC220±10%V

出力電力

3KW

出力電流

DC 0~6A

出力電圧

動作電圧 -200V~-600V、無負荷電圧>-600V

出力波形

カスタム定電圧、定電流、定電力

波形

単極DC

作業モード

安定した圧力

規制精度

≤1%

効率

≥90%

力率

cosΦ≥0.9

表示モード

中国語-英語LCDディスプレイ

コンテンツを表示

動作状態、出力電圧、出力電流、設定値

出力保護

出力過電圧、出力過電流、出力オフセット

入力保護

出力過電圧、出力低電圧、入力過電流、欠相

安全保護

接地保護、漏電保護、外部制御保護、雷保護、過熱保護

断熱クラス

B

保護グレード

IP20

保護応答時間

1マイクロ秒

入力シェル抵抗

≥20MΩ

出力シェル抵抗

≥20MΩ

入力耐電圧

2000V/1分

出力耐電圧

3500V/1分

温度

0~35℃

湿度

≤80%

冷却モード

空冷

寸法

480×135×380(mm)

注記

工場出荷時のアナログインターフェース、RS485、その他

製品紹介:

マグネトロンスパッタリング電源
DCスパッタリング電源

製造工程

113
ハイパワー6000W 2
DC電源3
テスト電源
DC電源5
DC電源6
6000W パッケージ3
出1

電源アプリケーション

アプリケーション1
アプリケーション2
アプリケーション3
アプリケーション4
アプリケーション5
アプリケーション6
アプリケーション7
アプリケーション8

梱包と配送

飛行機で
船で
トラックで
船舶電源6000W
発送準備完了

認定資格

認定資格1
認定資格8
認定資格7
認定資格2
認定資格3
認定資格5
認定資格6
認定資格4

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