DCマグネトロンスパッタリング電源

私たちのヒュイセンスパッタリング電源高度な PWM パルス幅変調技術を採用し、輸入 IGBT または MOSFET を電力スイッチング デバイスとして使用し、小型、軽量、完全な機能、安定した信頼性の高いパフォーマンス、厳格で完璧な生産プロセスなどの特徴を備えています。

当社の電源製品は先進的な DSP 制御システムを採用しており、コーティング プロセスの再現性を完全に保証し、ターゲットのアーク放電と短絡抵抗を抑制する機能があり、優れた負荷マッチング能力を備えているため、ターゲット表面洗浄プロセスの安定性が確保されるだけでなく、ターゲット表面の洗浄速度も向上します。主要パラメータは広い範囲で連続調整可能で、メンテナンスが簡単で信頼性が高く、PLC インターフェイスと RS485 インターフェイスが機能を拡張し、自動制御を容易にします。

主な特徴は次のとおりです。

1. 先進的な電流モードを採用スイッチング電源出力エネルギー貯蔵要素を削減する技術。同時に、スパーク抑制と再始動速度が向上し、アルミニウムターゲットコーティングにおいてより顕著な利点が得られます。

2. 定電流／定電力モードを搭載。従来の定電流モードと比較して、定電力モードはコーティングプロセスの再現性を確保します。

3. 理想的な電圧急降下特性を持ち、誤点火を自動的に識別でき、マグネトロンスパッタリングプロセスの連続性を完全に満たします。

4. 優れたカソードスパッタリング、さまざまな金属または非金属ターゲットの信頼性の高いスパッタリング。

5.手動制御/アナログインターフェース制御を選択でき、RS485通信インターフェースを選択できます。

6.DCマグネトロンスパッタリング電源実験用真空装置用に特別にカスタマイズされており、生産装置に比べて電力量とコストを削減します。

7. マイクロ秒アーク消火により、発火による不良品発生現象を完全に排除できます。

スパッタリング電源をお探しの場合は、WhatsAppまたはメールでお気軽にお問い合わせください。