DCマグネトロンスパッタリング電源

私たちのホイッセンスパッタリング電源先進的なPWMパルス幅変調技術を採用し、パワースイッチングデバイスとして輸入IGBTまたはMOSFETを使用し、小型、軽量、フル機能、安定した信頼性の高い性能、厳格で完璧な生産プロセスの特徴を備えています。

私たちのシリーズ電源製品は高度なDSP制御システムを採用しており、コーティングプロセスの再現性を完全に保証し、ターゲットのアーク放電と短絡抵抗を抑制する機能を備えており、優れた負荷整合能力を備えており、ターゲット表面の安定性を確保するだけでなく、洗浄プロセスだけでなく、ターゲット表面の洗浄速度も向上します。主要パラメータは広い範囲で連続的に調整できます。便利なメンテナンスと高い信頼性。PLCインターフェースとRS485インターフェースにより自動制御を容易にする機能を拡張します。

主な特徴は次のとおりです。

1.アドバンストカレントモードを採用スイッチング電源エネルギー貯蔵素子の出力を削減する技術。同時に、スパークの抑制と再始動の速度が向上し、アルミニウムターゲットコーティングの利点がより明らかになります。

2. 定電流/定電力モードが可能です。従来の定電流モード、定電力モードと比較して、コーティングプロセスの再現性を確保できます。

3. 理想的な電圧急峻な降下特性を持ち、誤点火を自動的に識別でき、マグネトロンスパッタリングプロセスの連続性を完全に満たします。

4. 良好なカソードスパッタリング、さまざまな金属または非金属ターゲットの信頼性の高いスパッタリング。

5. 手動制御/アナログインターフェース制御を選択でき、RS485 通信インターフェースを選択できます。

6.DCマグネトロンスパッタリング電源生産設備に比べて実験用真空設備向けに特別にカスタマイズされており、顧客の電力量とコストを削減します。

7. マイクロ秒アーク消弧により、発火による製品不良の現象を完全に排除します。

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