高精度実験用電源 0-6A 5000W DC マグネトロン スパッタリング電源
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特徴：
• 大型カラースクリーン設計、高精細ディスプレイを採用
・低リップル、低ノイズ
• 定電圧と定電流の動作状態は自動的に切り替わります。
• リモートサンプリングをサポートし、より正確な出力を実現
• OVP/OCP/OPP/OTP/SCP の自動保護
• インテリジェントなファン制御、騒音を低減し、エネルギーを節約します。
・誤操作を防止するフロントパネルロック機能
・19インチ3Uシャーシをラックに搭載可能
• RS232/RS485およびイーサネット制御インターフェースをサポート
• オペレーティング システム UI フラット アイコン デザイン、人間とコンピューターのより快適なインタラクション
• LAN デュアル ネットワーク ポート、1 つのネットワークを末端まで組み合わせたコミッショニング
仕様:
| 商品名 | DCマグネトロンスパッタリングメッキ電源 |
| アイテム番号 | HSJ-5KW-6 |
| タイプ | CNCインテリジェンス電源 |
| 入力電圧 | AC220±10%V |
| 出力電力 | 5KW |
| 出力電流 | DC0~6A |
| 出力電圧 | 動作電圧 -200V~-800V、無負荷電圧>-1kV |
| 出力波形 | カスタム定電圧、定電流、定電力 |
| 波形 | モノポーラDC |
| 仕事モード | 安定した圧力 |
| 調整精度 | 1%以下 |
| 効率 | ≥90% |
| 力率 | cosΦ≧0.9 |
| ディスプレイモード | 中国語/英語 LCD ディスプレイ |
| 表示内容 | 動作状態、出力電圧、出力電流、設定値 |
| 出力保護 | 出力過電圧、出力過電流、出力オフセット |
| 入力保護 | 出力過電圧、出力不足電圧、入力過電流、欠相 |
| 安全保護 | 接地保護、漏電保護、外部制御保護、雷保護、過熱保護 |
| 絶縁クラス | B |
| プロテクトグレード | IP20 |
| 保護応答時間 | 1μS |
| 入力シェル抵抗 | ≧20MΩ |
| 出力シェル抵抗 | ≧20MΩ |
| 入力耐電圧 | 2000V/1分 |
| 出力耐電圧 | 3500V/1分 |
| 温度 | 0～35℃ |
| 湿度 | ≤80% |
| 冷却モード | 空冷 |
| 寸法 | 480*135*380(mm) |
| 注記 | 工場出荷時のデフォルトのアナログインターフェース、RS485など |
製品導入：
生産工程
電源用途
梱包と配送
認証
